Рис. 3. Высокочастотная плазменная печь: 1 — запальный электрод; 2 — подача газопорошковой смеси; 3 — герметичная камера; 4 — плазма; 5 — индуктор; 6 — выращиваемый кристалл.


 

Оглавление